| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2018년 가을 (10/31 ~ 11/02, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 22권 2호 |
| 발표분야 | 전기화학_포스터 |
| 제목 | Structures and electrochemical properties of all solid state thin-film batteries using LTO anode sputtered by RF sputtering |
| 초록 | LTO는 기존의 박막전지에서 쓰이는 음극인 Li metal에 비해 안정성이 뛰어나고 큰 출력을 낼 수 있다는 장점을 가지고 있는 물질이다. 본 실험에서 박막전지를 제작하는데 양극은 LCO(LiCoO2), 전해질은 LiPON, 음극은 LTO(Li4/3Ti5/3O4)를 사용하였다. 양극인 LCO는 LiCoO2 타겟을 사용하여 증착하였고 RTA 장비를 통해 열처리를 진행하였다. 전해질인 LiPON은 Li3PO4를 N2 분위기하에서 sputtering하여 증착하였다. 마지막으로 음극 LTO는 Li4/3Ti5/3O4 타겟을 sputtering하여 증착하였다. smooth하고 poreless한 표면을 얻기 위해서 sputtering power와 process pressure를 조절하여 공정조건을 최적화하였고 표면의 morphology를 확인하기 위해서 FESEM 측정을 하였다. 그리고 XRD 측정을 통해서 박막전지 각 요소들의 결정 상태를 알아보았다. 또한 Nyquist plot 측정을 통해 박막전지의 저항값을 알아보았다. 마지막으로 박막전지의 용량을 측정하기 위해 Cycling test를 실시하였다. |
| 저자 | 나단, 서인석, 유도현, 윤백상, 이병준 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | Li battery; All solid state battery; nanostructured material; lithium titanium oxide |
