| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (10/21 ~ 10/22, 인하대학교) |
| 권호 | 11권 2호, p.2591 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Metal-insulator-transition 특성을 나타내는 Nb2O5 박막의 증착 |
| 초록 | 현재까지 niobium oxide (NbOx)는 높은 유전상수와 굴절율의 특성 때문에 트랜지스터의 gate insulator, capacitor, optical coating, 그리고 optical interference filter 등에 적용하기 위하여 연구가 활발히 진행되어 왔다. 또한 NbOx 물질에 가해지는 전기에 따라 색이 변하는 electrochromic 특성을 이용한 optical switching device에 대한 연구도 진행되고 있다. 그리고 NbOx 물질은 metal-insulator-transition (MIT) 즉, 특정한 조건에서 insulator에서 metal로 성질이 전이되는 특성을 가지고 있다. 본 연구에서는 rf magnetron sputter를 이용하여 NbOx 박막을 증착하고 열처리 과정을 수행하여 Nb2O5 phase를 형성한 후, 전기적 특성을 조사함으로써 박막의 MIT 특성을 확인하고자 하였다. 박막의 증착 공정에서 주요 변수로서 rf power와 산소 농도, 그리고 공정 압력을 설정하였으며 증착된 박막은 furnace 내에서 annealing 열처리 되었다. 형성된 NbOx 박막을 x-ray diffraction을 이용하여 실험 조건의 변화에 따른 phase의 변화를 관찰하였으며 scanning electron microscopy를 이용하여 열처리 전후의 표면과 단면의 변화를 관찰하였다. 또한 current-voltage measurement를 이용하여 증착된 Nb2O5 박막에서 insulator에서 metal로 성질이 전이되는 MIT 특성을 관찰할 수 있었다. |
| 저자 | 이장우, 정지원, 박익현 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | Nb2O5; MIT; sputtering |
| 원문파일 | 초록 보기 |
