| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 |
12권 2호 |
| 발표분야 |
전자 재료 |
| 제목 |
Microstructure And Dielectric Properties Of Zinc Titanate Thin Film |
| 초록 |
본 연구에서는 microwave resonator materials의 유력한 후보자인 Zinc titanate를 ZnO, TiO2을 raw material로 하여 sputter target으로 제작하였다. 제작한 Zinc titanate를 RF magnetron sputtering 방법으로 Pt/Ti/SiO2/Si 기판 위에 500nm의 박막으로 증착하였다. Sputtering 후 열처리 온도를 다양하게 변화시켜가면서 온도 변화에 따른 결정성장과 결정구조의 변이, 그리고 미세구조의 변화를 XRD, AFM을 가지고 관찰하였고 Zinc titanate의 전기적 특성 변화를 Impedance analyzer를 이용하여 측정하였다. |
| 저자 |
Jin Suk Jung, Yong Hee Kang, Dong Heon Kang
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| 소속 |
Dept. of Electronic Material Engineering & TICEM The Univ. of Suwon |
| 키워드 |
Zinc titanate thin film; RF magnetron sputter; microstructure; dielectric properties
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| E-Mail |
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