| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (05/14 ~ 05/15, 구미코) |
| 권호 | 21권 1호 |
| 발표분야 | E. 환경/센서 재료 |
| 제목 | 환원된 이산화티타늄(Reduced TiO2)을 이용한 불소 가스 검지 |
| 초록 | 현재 반도체 양산 공정 등 많은 산업 현장에서 불소계 가스를 이용하고 있다. 불소 가스는 공기 중에 노출되면 불산 가스로 변해 쉽게 확산될 뿐 아니라, 세포나 피부 조직에 빠르게 침투하여 인체에 매우 유독한 물질이다. 따라서 불소 가스를 사전에 검지하여 안전성을 확보하는 것이 매우 중요하다. 본 연구에서는 산화력이 뛰어난 불소 가스의 성질을 이용하여, reduced TiO2가 산화되는 성질을 응용하여 비가역적인 화학적 착색형 (gasochromic) 와 저항 변화에 의한 TiO2 기반의 불소 가스 검지 센서에 대한 연구 결과를 발표한다. 용액합성법을 이용하여 만든 나노구조 (나노와이어, 나노로드, 나노파티클)의 TiO2를 수소분위기에서 열처리 또는 UV처리 등의 방법으로 환원시켜 이불화제논(XeF2) 가스 내의 불소를 검지하고자 하였다. 용액합성법을 통해 만든 나노구조의 TiO2는 FTO 기판 위에 증착 하였으며, 합성한 다공성 구조체를 SEM을 통해 분석하였다. 또한, UV-vis 분석을 통해 광학식 센서 성능 평가와 I-V spectroscopy 분석을 통한 전기식 센서 성능 평가를 비교 분석하였다. |
| 저자 | 심고운, 이상연, Shankara S. Kalanur, 서형탁 |
| 소속 | 아주대 |
| 키워드 | gasochromic; reduced TiO<SUB>2; </SUB>Florine gas; sensor |
