| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4989 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 액적화학증착법을 이용한 (Bi, La)4Ti3O12 박막의 증착 및 특성분석 |
| 초록 | 본 연구는 불휘발성 메모리인 FRAM에 캐패시터로 사용하기 위한 BLT 박막을 증착하고 특성평가하고 개선하려는 것이다. 우선 BLT 박막은 낮은 열처리 온도에서도 큰 자발분극값을 나타내며 장시간 사용시 우려되는 피로현상에 대해서도 저항성이 뛰어난 새로운 물질로 알려져 있다. 본 연구에서는 전구체 선정이 유리하고, 공정조건이 쉬운 액적화학증착법을 이용하였다. 낮은 온도에서도 좋은 결정성과 표면 형상을 가진 박막을 제조할 수 있었고, 높은 유전상수와 낮은 누설전류값을 보여주었다. |
| 저자 | 정현진, 정숙진, 우성일 |
| 소속 | 한국과학기술원 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
