화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1996년 가을 (10/18 ~ 10/19, 경북대학교)
권호 2권 2호, p.2527
발표분야 재료
제목 MOCVD에 의한 ZnO:Zn thin film phosphor 제조
초록 본 연구에서는 MOCVD를 이용하여 저속전자관에서 발광효율이 우수하며 VFD(vacuum fluorescent displays)에 응용되고 있는 ZnO:Zn powder phosphor를 대신할 수 있는 thin film phosphor를 제조하고 공정변수와 광학적 특성과의 상관관계를 살펴보고자 하였다. 우선 polycrystalline ZnO를 제조하고 환원분위기에서 열처리를 통해 ZnO:Zn thin film phosphor를 얻고자 하였다.
저자 전병수1, 유재수2, 이종덕*
소속 1중앙대, 2서울대
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