| 초록 |
최근 급격한 태양전지 시장의 성장 예측에 따른 박막 태양전지에 대한 관심이 높아지고 있다. 박막 태양전지는 소재에 따라 비정질/결정질 실리콘 박막 태양전지, CIGS 박막 태양전지, CdTe 박막 태양전지, 염료감응 태양전지 등으로 구분할 수 있으며, 광전흡수층으로 Cu, In, Ga, Se의 4가지 원소로 구성된 Cu(InGa)Se2이 사용된 CIGS 박막 태양전지는 두께 1~2 μm의 박막으로도 고효율의 태양전지 제조가 가능하고, 또한 장기적으로 전기광학적 안정성이 우수한 특성을 지니고 있다. 스퍼터링 공정을 이용한 박막 제조시 박막 효율 및 공정 안정성이 최우선시 되고, 스퍼터링 타겟의 고신뢰성이 요구되어짐으로써, 높은 밀도, 균질한 구조와 조성 및 높은 기계적 특성을 가지는 CIGS 스퍼터링 타겟에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 따라서, 본 연구에서는 가스아토마이저밥으로 제조된 Cu-In 분말을 사용하여 일반 압연공정과 비교하여 높은 소성변형을 수반하는 Cross-roll 압연 공정을 이용하여 고밀도의 스퍼터링 타겟에 제조에 대한 연구를 수행하였다. 또한 취성이 있는 Cu-In 합금 분말의 건전한 설형을 위해 canning 압연공정을 수행을 하였다. 제조된 Cu-In 타겟재의 밀도, 미세조직 및 EBSD 등 특성분석을 통하여 최적 고밀도화 공정 조건을 도출하였다. |
