| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.1985 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 불소화합물 증착에 의한 금속 표면의 소수성 향상 |
| 초록 | 이 연구에서는 플라즈마 화학 증착 (PECVD)을 이용해 열전도도가 좋은 금속(Cu, Al)에 소수성이 우수한 물질(HFP: HexaFluoroPropylene)을 증착하여 얇은 박막으로 형성시켜 물과 의 접촉각을 최대로 할 수 있는 박막의 형성 조건을 조사하고, 증착된 표면의 특징을 정밀 분석한다 |
| 저자 | 정재식, 김영채, 문세기 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | PECVD; ESCA; AFM |
| 원문파일 | 초록 보기 |
