| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트) |
| 권호 | 18권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | Pulsed DC스퍼터링법으로 제조한 AZO박막의 특성연구: Si박막태양전지 전면투명전극 적용 |
| 초록 | Si박막태양전지 기술에서 투명전도성산화물박막(TCO)은 전면전극과 후면반사막으로 사용되는 매우 중요한 소재이다. 기존 박막태양전지 산업에서는 주로 FTO(fluorine doped tin oxide) 상용제품을 기판으로 사용하여 왔으나, 최근에는 ZnO박막에 대한 관심이 날로 커지고 있다. 이는 투명전극위에 증착되는 Si박막의 핵생성 거동 차이와 수소 플라즈마에 대한 ZnO막의 안정성에 기인한 것이다. 본 연구에서는 pulsed DC 스퍼터링법을 이용하여 Al-doped ZnO (AZO)박막을 제조하고 이를 사용하여 Si박막태양전지를 제조하고 셀 특성을 평가한다. 특히 pulsed 파워 주파수변조에 따른 AZO박막의 전기적, 광학적 특성변화와 구조결정학적 차이를 분석한다. Si박막태양전지의 전면전극으로 사용되는 TCO소재의 경우 셀 효율을 증가시키기 위해 광산란을 유도하는 표면 텍스쳐링 구조가 요구된다. 스퍼터링으로 제조된 AZO박막은 표면이 평탄하기 때문에 습식에칭공정을 거쳐서 수백 nm급의 표면형상을 가진 텍스쳐링 구조가 요구되는데, 이러한 식각과정에서 박막의 결정성은 많은 영향을 미칠 것으로 생각된다. 광산란 특성에 대한 Hazeness 수치와 Si박막태양전지의 단락전류에 대한 상호 연계성에 대한 분석과 함께, 에칭된 AZO박막의 표면전자에너지 변화에 따른 셀 특성변화도 파악하고자 한다. |
| 저자 | 최민승1, 김동호2, 송풍근1 |
| 소속 | 1재료(연), 2부산대 |
| 키워드 | AZO; Sputtering; Si박막태양전지; Pulsed DC |
