화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1995년 가을
권호 1권 2호, p.1353
발표분야 재료
제목 원거리 플라즈마를 이용한 저온 비정질 실리콘의 화학증착
초록
저자 이성우, 이시우
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