| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 환경에너지 |
| 제목 | PECVD를 이용한 가시광선감응 TiO2박막제조 |
| 초록 | TiO2(아나타제)는 높은 밴드갭 에너지(3.2eV) 때문에 태양광의 대부분인 가시광선영역에서 5%미만의 낮은 활성을 보인다. TiO2(아나타제)광촉매의 낮은 활성을 극복하기위해 가시광선감응 광촉매 제조가 필요하다. 본 연구에서는 PECVD를 이용하여 TiO2 박막제조 공정과 동시에 질소가스를 유입시켜 TiO2 구조를 TiOXNY로 제조하여 가시광선 영역에서 광촉매 활성에 대해 알아보았다. 실험에 사용된 도핑가스는 질소(초고순도 99.999)를 사용하였고 실험상의 변수는 Gas flow rate, Plasma power, Treatment time, Temperature로 각각의 조건을 달리하여 실험을 하였다. 박막제조 후 광촉매 활성 평가를 위해 methylene blue(MB) 분해실험을 하였다. |
| 저자 | 차근섭, 조동련, 최남영, 김귀성 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | PECVD; TiO2; 가시광선감응 |
