| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | 터치스크린용 강화유리 기판상 반사방지막이 코팅된 투명전도성 ITO 박막제조 및 반사특성 |
| 초록 | 본 연구에서는 양산을 고려한(Gen.5) 인라인 스퍼터링 공정을 이용하여 대면적 정전용량 방식 터치패널에 적용이 가능한 반사방지막이 코팅된 ITO(Indium Tin Oxide)기판 제조 공정을 최적화 하였다. 무결점 화학강화 소다라임 기판을(550MPa, 16µm)제작하여 사용하였으며, 면저항 균일도 60Ω/□±10%, 투과율 89%(at 550nm)이상, 에칭 전/후 반사율ΔR ＜ 1이하, 두께 25nm이하의 조건을 만족하는 ITO 기판의 공정최적화를 위한 실험을 진행하였다. Nb2O5와 SiO2의 굴절률을 이용하여 반사방지막이 설계되었으며 최종적으로 ITO 박막과 반사방지막을 동시에 유리에 코팅하여 Index-Matched ITO유리를 제작하였다. 대면적 터치스크린 Cover Glass에 직접 적용하여 ITO 시인성을 평가하였으며, 이번 연구를 통해 현재 수입에 의존하고 있는 대면적 IMITO Cover Glass 제조기술의 국산화에 기여할 수 있을 것이다. |
| 저자 | 정종국1, 조원선1, 이인정2, 채장열2 |
| 소속 | 1한화L&C 음성G-Tech TSP소재P&D, 2한화L&C 대덕테크센터 |
| 키워드 | TCO; IMITO; Index-Matched; ITO |
