| 초록 |
후막 광식각 기술은 스크린 인쇄 등의 일반적인 후막공정에 노광 및 현상 등의 리소그라피 공정을 접목시킨 기술로서, 후막 도선의 해상도를 높일 수 있는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 감광성 유기물을 이용하여 미세라인을 형성할 수 있는 LTCC(low-temperature cofired ceramic)용 Ag 페이스트를 개발하였다. MMA와 MAA의 공중합체를 기본으로하여 여러 종의 바인더 폴리머를 제작하고 그 특성을 분석하였다. 이후 페이스트를 구성 하는 은 분말과 바인더 폴리머, 모노머, 광개시제 등의 양을 조절하여 미세라인을 형성할 수 있는 최적 조성을 연구하였으며, 또한 노광량과 현상시간과 같은 공정변수가 미세라인 형성에 미치는 영향을 연구하였다. 실험결과 MMA와 MAA의 공중합체에 HEMA, nBMA가 적절히 혼합된 조성이 최적의 바인더폴리머로 선택되었으며, 폴리머/모노머 비, Ag 분말 중량비, 광개시제의 양 등 주요 인자들이 현상후 미세라인의 해상도에 미치는 영향을 확인할 수 있었다. 개발된 감광성 Ag 페이스트를 LTCC 그린시트에 전면 인쇄한 후 건조, 노광, 현상, 적층, 소성 과정을 통하여, 소성 후 20㎛ 이하의 선폭을 가지는 후막 미세라인을 세라믹 기판위에 형성할 수 있었다. |
