| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2008년 봄 (04/23 ~ 04/25, 제주ICC) |
| 권호 |
14권 1호, p.516 |
| 발표분야 |
생물화공 |
| 제목 |
Characterization of biosensor using nanodiamond chip |
| 초록 |
진보된 전자재료로서 연구되어지고 있는 diamond를 바이오센서에 이용하기 위해서 높은 핵 밀도(nucleation density)를 보유한 diamond를 Si 기판 위에 얇고, 평평하고, 연속적으로 deposition 하여야 한다. nanodiamond를 키우는 방법에는 Ultrasonic seeding, BEN(Bias Enhanced Nucleation) 등의 여러 가지가 있으나 여기서는 ESA(Electrostatic Self- Assembly) seeding 공정을 이용하였다. 결과적으로 45 nm의 nanodiamond 박막을 얻을 수 있었으며, 200 nm 크기의 패턴을 얻을 수 있었다. dep. time 60분 진행시 전기저항이 1kΩ으로 거의 도체의 물성을 보였으며, 자기장 test를 통한 hall effect 측정시 carrier density가 1019으로 p형 반도체와 같은 물성을 확인되었다. |
| 저자 |
심희준, 김종훈, 김광호, 김준호, 윤동화, 홍석인
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| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
nanodiamond; biosensor; electrical properties; ESA seeding process
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
초록 보기 |
