화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교)
권호 15권 2호
발표분야 환경.에너지
제목 고효율 다결정질 실리콘 태양전지 제조를 위한 텍스쳐링 기술개발(Ⅱ)
초록 결정질 실리콘 태양전지에서 높은 광변환 효율을 확보하기 위하여 텍스쳐링 공정은 필수적이다. 다결정질 실리콘 웨이퍼의 등방성 식각을 하기위해 불산과 질산 및 첨가제 (HF:HNO3:H2O, HF:HNO3:CH3COOH, HF:HNO3:H3PO4)의 농도조합, 공정 식각시간 변화등의 표면조직화 시험결과,HF:HNO3:H3PO4 시스템에서 짧은 시간내에평균 7% 수준의 반사율을 얻을수 있었다. 텍스쳐링 처리한 다결정질 실리콘 웨이퍼를 p-n접합, SiNx 반사방지막 코팅, 전후면 전극 프린팅등의 공정을 거쳐 다결정질 실리콘 태양전지를 제작하여 태양전지를 제작하여 약 16.3%의 광전환변환효율을 얻을수 있었다.
저자 이창준, 임대우, 권원호
소속 호서대
키워드 텍스쳐링(Texturing); 습식화학에칭(Saw-damage etching); 산용액(Acid); 다결정실리콘(Multi-crystalline silicon); 태양전지(Solar cell)
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