학회 | 한국공업화학회 |
학술대회 | 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교) |
권호 | 15권 2호 |
발표분야 | 환경.에너지 |
제목 | 고효율 다결정질 실리콘 태양전지 제조를 위한 텍스쳐링 기술개발(Ⅱ) |
초록 | 결정질 실리콘 태양전지에서 높은 광변환 효율을 확보하기 위하여 텍스쳐링 공정은 필수적이다. 다결정질 실리콘 웨이퍼의 등방성 식각을 하기위해 불산과 질산 및 첨가제 (HF:HNO3:H2O, HF:HNO3:CH3COOH, HF:HNO3:H3PO4)의 농도조합, 공정 식각시간 변화등의 표면조직화 시험결과,HF:HNO3:H3PO4 시스템에서 짧은 시간내에평균 7% 수준의 반사율을 얻을수 있었다. 텍스쳐링 처리한 다결정질 실리콘 웨이퍼를 p-n접합, SiNx 반사방지막 코팅, 전후면 전극 프린팅등의 공정을 거쳐 다결정질 실리콘 태양전지를 제작하여 태양전지를 제작하여 약 16.3%의 광전환변환효율을 얻을수 있었다. |
저자 | 이창준, 임대우, 권원호 |
소속 | 호서대 |
키워드 | 텍스쳐링(Texturing); 습식화학에칭(Saw-damage etching); 산용액(Acid); 다결정실리콘(Multi-crystalline silicon); 태양전지(Solar cell) |