- 화학적 기계적 연마를 위한 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법
- 국제 특허분류 : C09G-001/02, C09K-003/14, H01L-021/28, H01L-021/304, H01L-021/306
- 출원번호/일자 : 10-2016-0162869 (2016/12/01)
- 공개번호/일자 : 10-2018-0062786 (2018/06/11)
- 출원인 : 솔브레인 주식회사
- 본 발명은 화학적 기계적 연마를 위한 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법에 관한 것으로, 상기 슬러리 조성물은 카르복실기 함유 이미다졸계 화합물 또는 카르복실기 함유 벤조이미다졸계 화합물을 연마촉진제로 포함하는 것을 특징으로 한다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
