- 탄화규소 전구체로부터 벌크 탄화규소를 제조하기 위한 방법 및 장치
- 국제 특허분류 : C30B-023/00, C30B-029/36, C30B-035/00
- 출원번호/일자 : 10-2016-7008940 (2016/04/05)
- 공개번호/일자 : 10-2016-0054533 (2016/05/16)
- 출원인 : 지티에이티 코포레이션
- 탄화규소의 제조방법이 개시되어 있다. 이 방법은 로 쉘, 상기 로 쉘의 외부에 위치한 적어도 하나의 가열요소, 및 단열재로 둘러싸인 상기 로 쉘 내부에 위치한 고온 영역을 포함하는 승화로를 제공하는 단계를 포함한다. 상기 고온 영역은 하부영역에 위치한 탄화규소 전구체 및 상부영역에 위치한 탄화규소 시드를 갖는 도가니를 포함한다. 고온 영역은 탄화규소 전구체를 승화시키도록 가열되어 탄화규소 시드의 바닥면 상에 탄화규소를 형성한다. 결과로서 생긴 탄화규소 재료 뿐만아니라 탄화규소를 제조하기 위한 승화로가 또한 개시되어 있다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
