- 타겟을 스퍼터하기 위한 전파 식별 인-메탈 설비 및 아이솔레이션
- 국제 특허분류 : H01J-037/32, C23C-014/34, H01J-037/34
- 출원번호/일자 : 10-2016-7033267 (2016/11/28)
- 공개번호/일자 : 10-2017-0012274 (2017/02/02)
- 출원인 : 토소우 에스엠디, 인크
- 스퍼터 타겟/백킹 플레이트 조립체를 위한 전파 식별(RFID) 태그 수용 조합물로서, 보어가 상기 백킹 플레이트 또는 타겟 중 하나에 제공되고 상기 플러그의 정합 삽입하도록 구성된다. 상기 플러그는 상기 전파 식별(RFID) 태그를 지탱하도록 구성되는 오목형 부분을 포함한다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
