- 단층 박막 또는 적층 필름의 에칭 조성물 및 이를 이용한 에칭방법
- 국제 특허분류 : C23F-001/44, C09K-013/06, C09K-013/08, C23F-001/18, C23F-001/26, C23F-001/28
- 출원번호/일자 : 10-2017-0049340 (2017/04/17)
- 공개번호/일자 : 10-2017-0120504 (2017/10/31)
- 출원인 : 간또 가가꾸 가부시끼가이샤
- 본 발명은 금속 단층 박막 또는 금속 적층 필름을 에칭하기 위한 에칭 조성물로, 종래보다 뛰어난 에칭 환율을 실현하고 사이드 에칭, 테이퍼 각도, 단면 형상, 패턴 형상을 쉽게 제어하고, 성능 안정성을 유지하고 더 긴 액체 라이프를 가진 에칭 조성물을 제공한다. 이를 위해, 구리, 티타늄, 몰리브덴 및 니켈로 구성된 군에서 선택되는 금속 또는 이들의 질소 화합물로 구성된 단층 박막, 구리, 티타늄, 몰리브덴 및 니켈로 구성된 군에서 선택될 1종 또는 2종 이상을 함유하는 합금으로 된 단층 박막, 또는 상기 단층 박막을 한 개 또는 2개 이상을 포함하는 적층 필름을 에칭하기 위한 에칭 조성물로, 아졸, 질산, 과산화물 및 수용성 유기 용매를 포함하는 에칭 조성물을 제공한다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
