- 블록 공중합체의 질서화된 필름의 임계 치수 균일성 개선 방법
- 국제 특허분류 : G03F-007/004, C08L-053/00, G03F-007/00
- 출원번호/일자 : 10-2017-7023124 (2017/08/18)
- 공개번호/일자 : 10-2017-0118744 (2017/10/25)
- 출원인 : 아르끄마 프랑스
- 본 발명은 나노미터 규모로 블록 공중합체의 질서화된 필름의 임계 치수 균일성을 모니터링하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 블록 공중합체의 질서화된 필름의 임계 치수 균일성을 모니터링하는데 사용된 조성물, 및 특히 리소그래피 분야에서 마스크로서 사용될 수 있는 이에 따라 수득된 질서화된 필름에 관한 것이다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
