- 구리계 금속막 식각액 조성물 및 이를 이용한 식각 방법
- 국제 특허분류 : C23F-001/18, C23F-001/02, C23F-001/12
- 출원번호/일자 : 10-2019-0037435 (2019/03/29)
- 공개번호/일자 : 10-2020-0114899 (2020/10/07)
- 출원인 : 동우 화인켐 주식회사
- 본 발명은 과산화수소, 킬레이트제, PH 조절제, 화학식 1로 표시되는 화합물, 및 물을 포함하여, 구리계 금속막 식각시 처리매수 증가에 따른 식각 직진성 및 보관 안정성이 우수한 구리계 금속막 식각액 조성물 및 이를 이용한 식각 방법에 관한 것이다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
