- 다결정 실리콘 증착용 반응기
- 국제 특허분류 : C01B-033/035, C21D-007/02, C21D-007/13, C22F-001/14, C23C-016/24, C23C-016/44
- 출원번호/일자 : 10-2019-7012002 (2019/04/25)
- 공개번호/일자 : 10-2019-0047121 (2019/05/07)
- 출원인 : 와커 헤미 아게
- 본 발명은, 다결정 실리콘 증착용 반응기에 관한 것이며, 상기 반응기는 금속 베이스 플레이트, 베이스 플레이트 위에 배치되고 베이스 플레이트와 함께 기밀 방식으로 밀봉되는 냉각 가능한 유리종(bell jar), 기체 공급용 노즐 및 반응 기체 배출용 개구, 및 전류의 입력 및 출력 라인 및 필라멘트 로드를 위한 홀더를 포함하며, 유리종의 내벽은 코팅되고, 상기 코팅은 기계적 처리 중에 코팅의 소성 변형이 일어나도록 열간 성형 및/또는 냉간 성형에 의해 기계적으로 후처리된 것을 특징으로 한다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
