- 개선된 디바이스 온-웨이퍼 입자 성능을 위한 화학 상용성 코팅 물질
- 국제 특허분류 : H01L-021/48, C04B-035/00, H01J-037/32, H01L-021/02, H01L-021/3065, H01L-021/56
- 출원번호/일자 : 10-2019-7028751 (2019/09/30)
- 공개번호/일자 : 10-2019-0114040 (2019/10/08)
- 출원인 : 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
- 반도체 처리 챔버를 위한 물품에 대한 코팅을 제작하기 위하여, 물품은 Al, Al 2 O 3 , 또는 SiC 중 적어도 하나의 바디, 및 바디 상의 세라믹 코팅을 포함한다.세라믹 코팅은 약 50 mol% 내지 약 75 mol% 범위의 Y 2 O 3 , 약 10 mol% 내지 약 30 mol% 범위의 ZrO 2 , 및 약 10 mol% 내지 약 30 mol% 범위의 Al 2 O 3 을 포함하는 화합물을 포함하며, 여기서 1 인치 당 노듈의 수는 약 30개 노듈 내지 약 45개 노듈의 범위이며, 공극율은 약 2.5% 내지 약 3.2% 범위이다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
