- 보론카바이드를 포함하는 플라즈마 처리장치 및 그 제조방법
- 국제 특허분류 : H01J-037/32, C23C-028/04
- 출원번호/일자 : 10-2020-0020419 (2020/02/19)
- 공개번호/일자 : 10-2020-0020764 (2020/02/26)
- 출원인 : 에스케이씨솔믹스 주식회사
- 플라즈마에 대한 내식성이 우수하고 플라즈마 분포의 균일성을 확보하며, 전기전도도 및 열전도도를 개선하고 구조가 간단한 보론카바이드 코팅층을 포함하는 플라즈마 처리장치 및 제조방법을 제시한다. 그 장치 및 방법은 플라즈마 처리를 위한 반응공간을 형성하는 챔버 및 챔버의 내부에 위치하고 플라즈마와 접촉하는 부품을 포함하고, 그 부품은 플라즈마 내식성이 있고 부피 비저항이 10 5 ~10 -5 Ωㆍcm인 보론카바이드이다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
