- 퍼하이드로폴리실라잔 조성물 및 이를 사용하여 질화물 막을 형성하는 방법
- 국제 특허분류 : C08G-077/62, C01B-021/068, C01B-021/082, C04B-035/589, C04B-035/622, C08G-077/50, C09D-001/00, C09D-183/16
- 출원번호/일자 : 10-2020-7026405 (2020/09/14)
- 공개번호/일자 : 10-2020-0120714 (2020/10/21)
- 출원인 : 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레�드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
- Si-함유 막 형성 조성물은, 촉매 및/또는 폴리실란, 및 N-H 부재, C-부재, 그리고 Si가 풍부한 퍼하이드로폴리실라잔(상기 퍼하이드로폴리실라잔은 대략 332 달톤 내지 대략 100,000 달톤 범위의 분자량을 갖고 화학식 [-N(SiH3)x(SiH2-)y](여기서, x+y=2일 때 x=0, 1, 또는 2, 및 y=0, 1, 또는 2; 및 x+y=3일 때 x=0, 1 또는 2, 및 y=1, 2, 또는 3)를 갖는 N-H 부재 반복 단위를 포함함)을 포함한다. 또한, 합성 방법 및 이를 사용하기 위한 응용 분야가 개시된다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
