연구자 : 이종무 (인하대학교)
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교 박민우, 이종 Korean Journal of Materials Research, 16(8), 461, 2006 |
| 2 |
rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향 조용준, 박안나, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 16(7), 445, 2006 |
| 3 |
ZrO 2 MIM 캐패시터의 구조, 표면 형상 및 전기적 특성 김대규, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(2), 139, 2005 |
| 4 |
ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향 임종민, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(11), 741, 2005 |
| 5 |
반응성 스퍼터링법에서의 RF전력, 기판온도 및 가스유량비가 WC x 막의 기계적 특성에 끼치는 효과 박연규, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(10), 621, 2005 |
| 6 |
Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과 임근빈, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(9), 604, 2005 |
| 7 |
ALD법으로 증착한 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른 구조적, 전기적 특성 비교 박연규, 박안나, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(8), 514, 2005 |
| 8 |
마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교 임근빈, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(8), 518, 2005 |
| 9 |
ZnO ALE를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리 임종민, 신경철, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 14(5), 363, 2004 |
| 10 |
열플라즈마를 이용한 TiC 나노분말 합성 한인수, 오성민, 태원필, 안화승, 이종무, 오재희, 박동화 Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 14(8), 1028, 2003 |
| 11 |
ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 Annealing의 효과 이한승, 권덕렬, 박현아, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 13(3), 174, 2003 |
| 12 |
ALD법으로 제조된 Al 2 O 3 박막의 물리적 특성 김재범, 권덕렬, 오기영, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 12(6), 493, 2002 |
| 13 |
전해 크롬도금 대체용으로서의 CrC 스퍼터링에 관한 연구 임종민, 최균석, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 12(1), 82, 2002 |
| 14 |
Cu seed layer 표면의 플라즈마 전처리가 Cu 전기도금 공정에 미치는 효과에 관한 연구 오준환, 이성욱, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 11(9), 802, 2001 |
| 15 |
Cu-MOCVD를 위한 TiN기판의 플라즈마 전처리 이종무, 임종민, 박웅 Korean Journal of Materials Research, 11(5), 361, 2001 |
| 16 |
Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구 오준환, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 11(3), 215, 2001 |
| 17 |
HfN/Si 3 3 N 4 4 와 NbN/ Si3N4Si 3 N 4 다층박막의 기계적 특성 정진중, 황선근, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 11(3), 236, 2001 |
| 18 |
Ta/TaN 복합 다층 피막의 기계적 특성 강영권, 이종무, 최상욱 Korean Journal of Materials Research, 9(8), 837, 1999 |