연구자 : 이진형 (국민대학교)
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
수소 환원기체와 (hfac)Cu(3,3-dimethyl-1-butene) 증착원을 이용한 Pulsed MOCVD로 Cu seed layer 증착 특성에 미치는 영향에 관한 연구 박재범, 이진형, 이재갑 Korean Journal of Materials Research, 14(9), 619, 2004 |
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수소 환원기체와 (hfac)Cu(3,3-dimethyl-1-butene) 증착원을 이용한 Pulsed MOCVD로 Cu seed layer 증착 특성에 미치는 영향에 관한 연구 박재범, 이진형, 이재갑 Korean Journal of Materials Research, 14(9), 619, 2004 |