검색결과 : 2건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 Annealing의 효과 이한승, 권덕렬, 박현아, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 13(3), 174, 2003 |
| 2 |
ALD법으로 제조된 Al 2 O 3 박막의 물리적 특성 김재범, 권덕렬, 오기영, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 12(6), 493, 2002 |