검색결과 : 1건
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원자층 증착법으로 성장한 HfO 2 박막의 제조 김희철, 김민완, 김형수, 김혁종, 손우근, 정봉교, 김석환, 이상우, 최병호 Korean Journal of Materials Research, 15(4), 275, 2005 |
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원자층 증착법으로 성장한 HfO 2 박막의 제조 김희철, 김민완, 김형수, 김혁종, 손우근, 정봉교, 김석환, 이상우, 최병호 Korean Journal of Materials Research, 15(4), 275, 2005 |