검색결과 : 4건
| No. | Article |
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Fe-l6Cr 페라이틱 합금에 증착된 Y-Cr 이층 박막의 800℃ 열처리 후의 구조 및 전기적 특성 이용진, 김상우, 김긍호, 이종호, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 13(1), 36, 2003 |
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차세대 노광공정용 Ta박막의 0.2μm 미세패턴 식각특성 연구 우상균, 김상훈, 주섭열, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(12), 819, 2000 |
| 3 |
Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구 문호성, 김상훈, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(6), 450, 2000 |
| 4 |
Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구 김경석, 이규한, 임승택, 이승윤, 안진호 Korean Journal of Materials Research, 10(3), 218, 2000 |