검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
나노 구체 리소그라피법에 Ashing과 Annealing 효과를 적용하여 크기조절 가능한 나노패턴의 제조 이유림, 마흐붑 알람, 김진열, 정우광, 김승대 Korean Journal of Materials Research, 20(10), 550, 2010 |
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나노 구체 리소그라피법에 Ashing과 Annealing 효과를 적용하여 크기조절 가능한 나노패턴의 제조 이유림, 마흐붑 알람, 김진열, 정우광, 김승대 Korean Journal of Materials Research, 20(10), 550, 2010 |