검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성 최치규, 강민성, 오경숙, 이유성, 오대현, 황찬용, 손종원, 이정용, 김건호 Korean Journal of Materials Research, 9(11), 1129, 1999 |
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고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성 최치규, 강민성, 오경숙, 이유성, 오대현, 황찬용, 손종원, 이정용, 김건호 Korean Journal of Materials Research, 9(11), 1129, 1999 |