검색결과 : 21건
| No. | Article |
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초임계 유체를 이용한 약물이 담지된 PAc-β-CD 나노 입자의 친환경적인 제조 장민기, 김용훈, 김동우, 이시윤, 임권택 Clean Technology, 26(1), 1, 2020 |
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웨이퍼 표면의 Si3N4 파티클 제거를 위한 초임계 이산화탄소 세정 김용훈, 최해원, 강기문, 안톤커랴킨, 임권택 Clean Technology, 24(3), 157, 2018 |
| 3 |
포토레지스트 공정에서 높은 선택성을 가지는 초임계 이산화탄소/n-butyl acetate 공용매 시스템 연구 김동우, 허훈, 임권택 Clean Technology, 23(4), 357, 2017 |
| 4 |
초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼의 건식 식각에서 알콜 첨가제의 효과 김도훈, 장명재, 임권택 Clean Technology, 18(3), 280, 2012 |
| 5 |
초임계 이산화탄소를 이용한 고농도이온주입 포토레지스트의 효율적인 제거 김도훈, 임의상, 임권택 Clean Technology, 17(4), 300, 2011 |
| 6 |
마이크로파를 이용한 비극성 고무컴파운드의 가황 효율 정우선, 이원기, 임권택 Polymer(Korea), 35(3), 228, 2011 |
| 7 |
초임계이산화탄소를 이용한 플라즈마 손상된 다공성 저유전 막질의 복원 정재목, 임권택 Clean Technology, 16(3), 191, 2010 |
| 8 |
초임계이산화탄소 내에서 공용매 및 초음파를 이용한 고농도 이온주입 포토레지스트의 제거 김승호, 임권택 Clean Technology, 15(2), 69, 2009 |
| 9 |
1H,1H,2H,2H-퍼플로로데실메타크릴레이트와 tert-부틸메타크릴레이트로 구성된 공중합체의 합성 및 이산화탄소에서의 리소그라피 특성에 관한 연구 황하수, 이진균, 박인, 허훈, 임권택 Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 19(4), 402, 2008 |
| 10 |
폴리디메틸실록산계 안정화제를 이용한 초임계 이산화탄소에서의 L-Lactide의 개환중합 황하수, 임권택 Clean Technology, 12(2), 62, 2006 |