검색결과 : 1건
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다양한 조건의 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 Mo 금속의 전기적 특성 임태완, 장효식 Korean Journal of Materials Research, 29(11), 715, 2019 |
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다양한 조건의 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 Mo 금속의 전기적 특성 임태완, 장효식 Korean Journal of Materials Research, 29(11), 715, 2019 |