검색결과 : 2건
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[일반총설] 반도체 나노 패터닝 구현 재료: Spin 코팅 Hardmask용 유기실리콘 및 고탄소 물질 조현모, 전환승, 김상균, 장두원, 김종섭 Polymer Science and Technology, 20(5), 472, 2009 |
2 |
[특집] 환경 친화형 반도체 봉지재 한승, 장두원 Polymer Science and Technology, 16(1), 38, 2005 |
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[일반총설] 반도체 나노 패터닝 구현 재료: Spin 코팅 Hardmask용 유기실리콘 및 고탄소 물질 조현모, 전환승, 김상균, 장두원, 김종섭 Polymer Science and Technology, 20(5), 472, 2009 |
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[특집] 환경 친화형 반도체 봉지재 한승, 장두원 Polymer Science and Technology, 16(1), 38, 2005 |