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PECVD에 의한 YSZ (Yttria Stabilized Zirconia) 박막 제조 김기동, 신동근, 조영아, 전진석, 최동수, 박종진 Korean Journal of Materials Research, 9(3), 234, 1999 |
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PECVD에 의한 YSZ (Yttria Stabilized Zirconia) 박막 제조 김기동, 신동근, 조영아, 전진석, 최동수, 박종진 Korean Journal of Materials Research, 9(3), 234, 1999 |