검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
[일반총설] 반도체 나노 패터닝 구현 재료: Spin 코팅 Hardmask용 유기실리콘 및 고탄소 물질 조현모, 전환승, 김상균, 장두원, 김종섭 Polymer Science and Technology, 20(5), 472, 2009 |
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
[일반총설] 반도체 나노 패터닝 구현 재료: Spin 코팅 Hardmask용 유기실리콘 및 고탄소 물질 조현모, 전환승, 김상균, 장두원, 김종섭 Polymer Science and Technology, 20(5), 472, 2009 |