검색결과 : 3건
| No. | Article |
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게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화 정영순, 송오성, 김상엽, 최용윤, 김종준 Korean Journal of Materials Research, 15(5), 301, 2005 |
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코발트/니켈 복합실리사이드의 실리사이드온도에 따른 면저항과 미세구조 변화 정영순, 정성희, 송오성 Korean Journal of Materials Research, 14(6), 389, 2004 |
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직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거 정영순, 송오성, 김득중, 주영철 Korean Journal of Materials Research, 14(5), 315, 2004 |