검색결과 : 1건
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기계화학적 연마용 실리카 연마재의 형상과 크기가 산화막 연마율에 미치는 영향 이진호, 임형미, 허수현, 정정환, 김대성, 이승호 Applied Chemistry for Engineering, 22(6), 631, 2011 |
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기계화학적 연마용 실리카 연마재의 형상과 크기가 산화막 연마율에 미치는 영향 이진호, 임형미, 허수현, 정정환, 김대성, 이승호 Applied Chemistry for Engineering, 22(6), 631, 2011 |