검색결과 : 3건
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플라즈마 식각에서 마스크의 경사진 단면모양이 식각단면에 미치는 영향에 관한 전산모사 연구 조병옥, 한재현, 김일욱, 문상흡 HWAHAK KONGHAK, 34(4), 502, 1996 |
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[특집: 반도체 공정] 반도체 가공 공정에서의 화학 반응 한재현, 정찬화, 김일욱, 문상흡 Chemical Industry and Technology, 13(3), 259, 1995 |
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이온의 탄성충돌모델에 의한 플라즈마 식각단면의 전산모사 한재현, 조병옥, 정찬화, 문상흡 HWAHAK KONGHAK, 32(3), 431, 1994 |