화학공학소재연구정보센터
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No. Article
1 An angular distribution function for the sputter-depositing atoms and general equations describing the initial thickness profile of a thin film deposited inside a via and trench by sputtering
Kim CG, Lee WJ
Thin Solid Films, 519(1), 74, 2010
2 실리콘 박막 태양전지 전면 전극용 ZnO : Al 투명전도막의 표면형상 및 산란광 특성
김영진, 조준식, 이정철, 왕진석, 송진수, 윤경훈
Korean Journal of Materials Research, 19(5), 245, 2009