검색결과 : 2건
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Comparison of dry etching of PMMA and polycarbonate in diffusion pump-based 02 capacitively coupled plasma and inductively coupled plasma Park JH, Lee SH, Choi KH, Noh HS, Lee JW, Pearton SJ Thin Solid Films, 518(22), 6465, 2010 |
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확산펌프 기반의 O2 축전결합 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트의 건식 식각 박주홍, 이성현, 최경훈, 노호섭, 이제원 Korean Journal of Materials Research, 19(8), 421, 2009 |