검색결과 : 2건
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고밀도 C4F8 플라즈마에서 증착된 불화탄소막의 광학적 및 전기적 특성 권혁규, 유상현, 김준현, 김창구 Korean Chemical Engineering Research, 59(2), 254, 2021 |
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The monomer inlet position effect on the fluorocarbon film deposited using RF plasma Liu CH, Wei TC Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers, 37(2), 169, 2006 |