검색결과 : 2건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
전기로를 이용한 Si || SiO 2 /Si 3 N 4 || Si 이종기판쌍의 직접접합 이상현, 이상돈, 서태윤, 송오성 Korean Journal of Materials Research, 12(2), 117, 2002 |
| 2 |
선형열처리를 이용한 Si(100)/Si 3 3 N 4 4 ∥Si (100) 기판쌍의 직접접합 이영민, 송오성, 이상연 Korean Journal of Materials Research, 11(5), 427, 2001 |