화학공학소재연구정보센터
Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, Vol.8, No.5, 756-762, October, 1997
황산전해액에서 양극산화에 의한 알루미나 막 제조에 관한 연구
Study on the Synthesis of Alumina Membrane by Anodization in Sulfuric Acid
초록
본 실험에서는 황산용액에서 전기화학적으로 금속 알루미늄판을 양극산화하벼 원통형 세공구조를 갖고 있는 alumina막을 형성시켰다. 양극화에 사용된 알루미늄 시료는 전해연마, 화학연마 및 열산화와 같은 전처리 공정을 거쳐서 준비하였으며, 형성된 알루미나막의 세공분포와 두께 등을 SEM과 BET를 사용하여 조사하였다. 그 결과 산화피막이 Keller모델과 같은 기하 구조로 이루어져 있으며. 균일한 세공 분포를 지니고 있음을 볼 수 있었다. 그리고 산화막의 세공크기와 두께는 황산전해질의 농도, 반응온도 그리고 전류밀도와 같은 양극산화 공정변수에 의존함을 알수 있었다.
The experiment was carried out to fabricate alumina membrane which has a cylindrical pore structure by anodizing aluminium plate in sulfuric acid solution with the electrochemical technique. The aluminium plate for anodizing was prepared by the pretreatment process such as chemical, electro-polishing and thermal treatment. The pore size distribution and the film thickness of alumina membrane were investigated by the implementation of scanning electron microscope(SEM) and BET method. The results show that the oxide film has a geometrical structures like a Keller model and that the membrane has a uniform pore distribution. The pore size and the oxide film thickness are dependent on the anodizing process variables such as the electrolyte concentration, the reation temperature and the anodizing current density.
  1. Rysselberg PV, Johansen HA, J. Electrochem. Soc., 106, 355 (1959)
  2. Franklin RW, Stirland DJ, J. Electrochem. Soc., 110, 262 (1963)
  3. Zahavi J, Metzer M, J. Electrochem. Soc., 119, 1479 (1972)
  4. Delloca CJ, Fleming PJ, J. Electrochem. Soc., 123, 1487 (1976) 
  5. Keller F, Hunter MS, Robinson DL, J. Electrochem. Soc., 100, 411 (1953)
  6. Alwitt RS, J. Electrochem. Soc., 135, 2595 (1988)
  7. Murphy OJ, Wainright JS, Lenczwski JJ, Gibson JH, Santana MW, J. Electrochem. Soc., 136, 3518 (1989) 
  8. Kleinke MU, Teschke O, J. Electrochem. Soc., 138, 2763 (1991) 
  9. Lanzerotti LJ, Brown WL, Nature, 272, 432 (1978)
  10. Tayer CS, Tucker JD, Trans. J. Electrochem. Soc., 88, 325 (1945)
  11. Alwitt RS, J. Electrochem. Soc., 134, 1891 (1987) 
  12. Thomas AW, Whitechead TH, J. Phys. Chem., 35, 27 (1931) 
  13. O'Sullivan JP, Wood GC, Proc. R. Soc. London Ser. A, 317, 511 (1970)
  14. Rai KN, Ruckenstein E, J. Catal., 40, 117 (1975)