화학공학소재연구정보센터
Polymer Science and Technology, Vol.31, No.2, 114-118, April, 2020
[특집] 나노임프린트공정 기반 나노전사공 정을 이용한 나노구조체 제작기술
Fabrication of Nano-Structures via Nanotransfer Lithography Based on Nanoimprint Lithography