Perfluoropolyether(PFPE)타입의 오일은 낮은 증기압을 가지면서 열적ㆍ화학적 안정성이 매우 우수하고, 윤활성이 좋으면서 불연성인 점 등 여러 가지 장점으로 인해 초내열, 초진공 등 극한환경 조건에서의 윤활제로 사용되고 있는 합성유의 한 종류이다. 현재 국내에서는 반도체 제조공정의 청정환경을 유지시켜주기 위한 초진공 펌프용 오일로 많이 사용되고 있다. 진공펌프 오일은 사용도중 기계적 마모입자의 혼입, 각종 반도체 제조공정용 화학약품의 혼입, PFPE 오일분자의 절단에 의한 저점도화 등 이물질들에 의한 오염과 오일자체의 변화 등으로 인해 일정기간 사용 후에는 반드시 교환해야 한다. 이때 발생하는 폐 PFPE 오일의 재사용이 환경보호 및 경제적 차원에서 시급히 해결해야 할 과제로서 본 논문에서는 사용 후 폐 PFPE 오일의 정제 및 재생에 관한 그 동안의 연구결과를 간략히 정리하여 소개하고자 한다.