Prospectives of Industrial Chemistry, Vol.8, No.2, 25-40, April, 2005
[기획특집-CFC 대체기술 개발 현황] CFC 대체세정제와 대체세정기술
Alternative Cleaning Agents and Alternative Cleaning Technologies for Replacing CFC
1,1,1-trichloroethane과 CFC-113은 세정성이 좋고 여러 가지 물성이 뛰어나고 독성이 적어 사용하기 편리하여 지금까지 산업현장에서 많이 사용하여 왔지만 몬트리올 협정에 따라 이러한 오존파괴물질들을 대체세정제로 교체하여야 한다. 본고에서는 현재 개발 중이거나 개발되어 현장에 적용되고 있는 대체세정제기술 현황과 세정제를 사용하지 않고 초정밀 세정이 가능하여 차세대세정기술로 활발히 연구개발 되고 있고 일부 실용화되어 현장에 적용되고 있는 대체세정기술들을 조사 분석하여 보았다.