화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Pb(ZrXTi1-X)O3 박막의 증착을 위한 Sol-Gel Precursor 용액들의 특성 평가|Characterization of Sol-Gel Precursor Solutions for the preparation of Pb(ZrXTi1-X)O3 Thin Films
정지원, 김창정|Chee Won Chung, Chang Jung Kim
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회
1 비휘발성 반도체 메모리 응용을 위한 유도결합 플라즈마에서 Pt/PZT/Pt 박막 커패시터의 건식 식각|Dry Etching of Pt/PZT/Pt Thin Film Capacitors in an Inductively Coupled Plasma (ICP) for Nonvolatile Memory
정지원, 김창정|Chee Won Chung, Chang Jung Kim
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회