화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Plasma를 통한 기판 전처리가 구리 박막 성장에 미치는 영향
진성언, 최종문, 이도한, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균
한국재료학회 2009년 가을 학술대회
4 Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어가스가 박막성장에 미치는 영향
최종문, 이도한, 진성언, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균
한국재료학회 2009년 가을 학술대회
3 High frequency and high power PECVD를 이용한 thin film solar cell용 microcrystalline Si 증착
이승무, 김영석, 한문형, 변동진
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
2 금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화
김영석, 장삼석, 이승무, 박지훈, 변동진
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
1 CVD를 이용한 Cu 증착 시 plasma 전처리로 인한 구조적 특성의 비교 분석
진성언, 변동진, 이승무, 박지훈, 이도한, 최종문, 김창균, 정택모
한국재료학회 2009년 봄 학술대회